172nm MINI實驗模組 新品首發(fā)

本次展會，廣明源將首發(fā)推出自主研發(fā)的新品——172nm MINI實驗模組。該產品專為半導體工藝研發(fā)、制程驗證及小批量試產環(huán)節(jié)設計，具備結構精簡、成本可控、桌面即放即用、便攜靈活等特點，適配多種實驗環(huán)境與制程需求。

172nm 深紫外黑科技

可高效分解晶圓表面有機殘留，提升潔凈度與附著性能，為封裝、清洗等工藝提供穩(wěn)定前處理方案。

極簡結構，桌面級準分子實驗新體驗

由于傳統(tǒng)準分子光輻照器因高純度 N?填充結構復雜，難以實現桌面級靈活實驗。廣明源創(chuàng)新推出緊湊臺式準分子光照射器——172nm MINI實驗模組，機身僅相當于書本大小，采用高集成輕量化設計，打破空間與成本壁壘，助力高校、企業(yè)及研究機構輕松搭建準分子光實驗環(huán)境，滿足平板顯示光清洗、塑料表面改性等多領域研發(fā)需求。

應用領域：

表面有機污染物去除

表面活化與改性

封裝工藝表面清潔處理

超凈化超微細清洗工藝驗證

172nm 系列全線亮相共襄盛會

除新品發(fā)布外，廣明源還將展出多款172nm準分子系列光源與模組產品，覆蓋晶圓清洗、半導體基材表面活化、超純水TOC降解等多個關鍵工藝環(huán)節(jié)，為制程優(yōu)化與設備升級提供更多選擇。

172nm準分子系列光源

172nm準分子系列模組及設備

SEMI-e 2025 ，誠邀蒞臨

歡迎半導體制造企業(yè)、設備廠商、工藝研發(fā)工程師及行業(yè)伙伴蒞臨參觀交流，現場了解172nm準分子光科技在半導體制造領域的多元應用，共同探討合作機會。

觀展指南

2025 SEMI-e 中國（深圳）國際半導體展覽會

時間：2025年6月4-6日

地點：深圳國際會展中心14號館

展位號：14G22

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